溫控器 INR-495-023-X014-2是 SMC INR-495 系列定制款水冷冷凍式溫控設備，搭載天然 CO?（R744）無氟冷媒，GWP 值僅為 1，適配歐盟 F-Gas、美國及加州冷媒管控標準，專為半導體晶圓探針測試、薄膜沉積、精密蝕刻等高潔凈工藝打造，是傳統高 GWP 冷媒設備的低碳合規替換機型。

溫控器 INR-495-023-X014-2采用跨臨界二氧化碳制冷系統，搭配獨立電加熱補償單元，溫控區間覆蓋 - 20℃至 70℃，額定冷卻能力 8.5kW，溫度穩定度可達 ±1℃，搭載專用工業 PID 閉環調控邏輯，可快速抵消芯片持續產熱、潔凈車間環境溫差帶來的溫度波動，穩定氟化循環液溫度，有效規避溫度漂移造成的晶圓檢測數據偏差、薄膜厚度不均、蝕刻速率失衡等生產缺陷。

整機循環回路適配半導體專用氟化液，介質接觸腔體、管路全部采用無銅防腐潔凈材質，杜絕金屬離子析出污染晶圓；內置高精度前置過濾組件，持續攔截介質內細微顆粒，保障管路長期潔凈通暢。設備采用一體式水冷換熱結構，換熱效率高，運行不會向無塵車間釋放多余熱量，機身細長緊湊型設計，可直接適配原有產線設備安裝位，無需大規模改造產線布局。

機身配備集成數字操作面板，可實時查看介質溫度、循環流量、機組運行壓力與故障代碼，溫度、流量、多級報警閾值可直觀自定義；標配 RS485 工業通訊接口，可對接產線 PLC 控制系統，實現遠程參數修改、運行數據存儲、故障信號遠程上傳，適配全自動智能化半導體產線。

整機搭載全套高階安全防護體系，包含介質低液位保護、壓縮機高低壓過載保護、超溫自動停機、冷卻水斷流保護、低溫防凍保護等功能，設備出現異常即刻停機并輸出告警信號，保護昂貴半導體工藝設備。內部濾芯、密封件、循環泵等易損配件拆裝簡便，無需專業工具，日常僅需定期清潔濾網、更換循環介質，運維成本低廉，可支撐半導體產線 24 小時不間斷連續量產。

INR-495-023-X014-2 依托 CO?無氟環保冷媒、寬溫域精準控溫、潔凈防腐回路、水冷高效散熱、自動化智能聯動的核心優勢，為半導體精密工藝提供長效穩定、合規低碳的標準化溫控解決方案。