溫控器 INR-495-012是 SMC INR-495 系列水冷式二氧化碳冷媒循環溫控設備，專為半導體晶圓檢測、薄膜沉積、精密蝕刻等高潔凈工藝打造。設備采用天然 R744 二氧化碳作為制冷介質，不含氟化物，GWP 值僅 1，不受歐盟 F-Gas、北美冷媒管控法規限制，是傳統高 GWP 冷媒溫控機的低碳合規替代機型，適配外銷半導體設備與無塵智能工廠。

溫控器 INR-495-012搭載跨臨界高效 CO?制冷系統，搭配獨立電加熱補償單元，實現冷熱雙向調節，溫控區間覆蓋 - 20℃至 70℃，可兼顧低溫冷卻與高溫恒溫多類型工藝。設備搭載工業多段 PID 閉環調控算法，針對芯片持續產熱、潔凈廠房環境溫差等動態負載，溫度響應快速，控溫穩定精度可達 ±1℃，穩定氟化循環液溫度，避免溫度漂移造成晶圓檢測數據偏差、鍍膜厚度不均、等離子刻蝕速率失衡等工藝不良。

整機循環回路適配半導體專用氟化液，所有介質接觸腔體、管路采用無銅防腐不銹鋼材質，杜絕金屬離子析出污染晶圓產品；配備耐腐蝕循環泵與高精度前置過濾組件，持續截留介質內細微顆粒，長期運行管路不易積垢堵塞。設備采用一體式水冷換熱結構，換熱效率高，運行不向無塵車間散發熱量，機身緊湊型標準化結構，可匹配產線原有安裝位，無需大規模改造產線布局。

機身搭載集成數顯操作面板，實時展示介質溫度、循環流量、機組運行壓力與故障代碼，溫度、多級報警閾值可直觀設定；標配 RS485 工業通訊接口，可對接產線 PLC 系統，實現遠程參數修改、運行數據存儲、故障信號遠程上傳，適配全自動智能化半導體產線。

整機配備全套高階安全防護機制，包含介質低液位保護、壓縮機高低壓過載保護、超溫自動停機、冷卻水斷流保護、低溫防凍保護等，設備異常即刻停機告警，保護高價半導體工藝設備。內部濾芯、密封件、循環泵等易損配件拆裝便捷，日常僅需定期清潔濾網、更換循環介質，運維成本低廉，可支撐產線 24 小時不間斷連續量產。

INR-495-012 依托無氟 CO?環保冷媒、寬溫域精準恒溫、潔凈防腐循環回路、水冷高效散熱、自動化智能聯動的核心優勢，為半導體精密工藝提供長效穩定、低碳合規的標準化溫控解決方案。