溫控器 INR-495-017是 SMC 面向半導體精密工藝推出的 CO?天然冷媒水冷式循環溫控器，整機采用 R744 二氧化碳無氟冷媒，溫室效應指數趨近于 1，不受歐盟 F-Gas、北美冷媒管控條例約束，是傳統氟利昂制冷設備的低碳替換產品，廣泛適配晶圓探針測試、薄膜沉積、精密蝕刻等無塵產線工況。

溫控器 INR-495-017搭載高效跨臨界 CO?制冷系統，搭配獨立電加熱補償單元，可實現冷熱雙向精準調控，溫控區間覆蓋 - 20℃至 70℃，適配高低溫復合型半導體工藝。設備搭載工業專用多段 PID 調控算法，面對芯片持續發熱、車間環境溫度波動等動態負載，溫度響應速度快，控溫穩定精度可達 ±1℃，能夠穩定氟化循環液溫度，有效解決溫度漂移引發的檢測數據偏差、鍍膜厚度不均、刻蝕速率不穩定等生產缺陷。

設備循環回路專為半導體高純介質設計，所有與介質接觸的管路、腔體均采用無銅防腐不銹鋼材質，杜絕金屬離子析出污染晶圓。內置耐腐蝕大流量循環泵與高精度前置過濾器，持續截留介質內微小顆粒雜質，長期運行管路不易積垢、堵塞，保障循環介質潔凈度。整機采用一體式水冷換熱結構，換熱效率高，運行過程不會向潔凈車間釋放多余熱量，機身緊湊型標準化設計，可直接匹配產線原有設備安裝位置，無需大幅改造產線布局。

機身配備集成數字操作面板，可實時顯示介質溫度、循環流量、機組運行壓力與故障代碼，溫度參數、多級報警閾值可快速自定義設置；標配 RS485 工業通訊接口，可對接產線 PLC 控制系統，實現遠程參數調整、運行數據存儲、故障信號遠程上傳，適配全自動智能化半導體生產線。

整機搭載全套安全防護體系，包含介質低液位保護、壓縮機高低壓過載保護、超溫自動停機、冷卻水斷流保護、低溫防凍保護等功能，設備出現異常時立即停機并輸出告警信號，保護高價半導體工藝設備。內部濾芯、密封件、循環泵等易損配件拆裝簡單，日常僅需定期清潔濾網、更換循環介質，運維成本低廉，可支持半導體產線 24 小時不間斷連續量產。

INR-495-017 依托無氟 CO?環保冷媒、寬溫域精準恒溫、潔凈防腐循環回路、水冷高效散熱、自動化智能聯動的核心優勢，為半導體精密加工工藝提供長效穩定、低碳合規的標準化溫控解決方案。