溫控器 INR-498-016E-X007是 SMC INR-498 系列大功率水冷式 CO?天然冷媒溫控機組，專為半導體刻蝕、薄膜沉積、晶圓檢測等高負載潔凈工藝定制，整機采用無氟 R744 二氧化碳冷媒，GWP 值僅為 1，符合歐盟 F-Gas、美國及加州冷媒管控標準，可直接替換傳統高 GWP 冷媒冷水機，適配出口型半導體設備與無塵智能工廠。

溫控器 INR-498-016E-X007搭載高效跨臨界 CO?制冷系統，搭配獨立電加熱補償單元，額定冷卻能力 16kW，溫控區間覆蓋 - 20℃至 70℃，溫度穩定精度可達 ±1℃，搭載工業級多段 PID 閉環調控邏輯，動態負載下溫度跟隨性優異，可快速平衡芯片持續產熱、潔凈車間環境溫差帶來的溫度波動，穩定氟化循環液溫度，有效規避溫度漂移引發的晶圓檢測數據偏差、薄膜厚度不均、等離子刻蝕速率失衡等生產缺陷SMC Corpor...。

整機循環回路適配半導體專用氟化液，介質接觸腔體、管路全部采用無銅不銹鋼防腐潔凈材質，杜絕金屬離子析出污染晶圓；內置大流量耐腐蝕循環泵與高精度前置過濾組件，持續攔截介質內細微顆粒，保障管路長期潔凈通暢。設備采用一體式水冷換熱結構，換熱效率高，運行不會向無塵車間釋放多余熱量，機身標準化工業緊湊型設計，可匹配產線原有設備安裝位，無需大規模改造產線布局上海九展自...。

機身配備集成式高清數顯操作面板，可實時查看介質溫度、循環流量、機組運行壓力與故障代碼，溫度、流量、多級報警閾值可直觀自定義；標配 RS485 工業通訊接口，可對接產線 PLC 控制系統，實現遠程參數修改、運行數據存儲、故障信號遠程上傳，適配全自動智能化半導體產線CAE。

整機搭載全套高階安全防護體系，包含介質低液位保護、壓縮機高低壓過載保護、超溫自動停機、冷卻水斷流保護、低溫防凍保護等功能，設備出現異常即刻停機并輸出告警信號，保護昂貴半導體工藝設備。內部濾芯、密封件、循環泵等易損配件拆裝簡便，無需專業工具，日常僅需定期清潔濾網、更換循環介質，運維成本低廉，可支撐半導體產線 24 小時不間斷連續量產。

INR-498-016E-X007 依托 CO?無氟環保冷媒、16kW 大功率寬溫域精準控溫、潔凈防腐回路、水冷高效散熱、自動化智能聯動的核心優勢，為半導體高負載精密工藝提供長效穩定、合規低碳的標準化溫控解決方案。