溫控器 INR-495-025-2是 SMC 面向半導工藝打造的二氧化碳冷媒冷凍式循環液溫控設備，整機采用天然 CO?環保冷媒，不含任何含氟介質，豁免歐盟 F-Gas 法規限制，適配晶圓探針測試、薄膜沉積、精密光刻設備等嚴苛潔凈產線，是半導體產線低碳合規的專業恒溫冷卻解決方案。

溫控器 INR-495-025-2依托跨臨界 CO?制冷系統實現穩定制冷，搭配獨立電加熱補償單元，溫控區間覆蓋 - 10℃至 50℃，搭載工業級多段 PID 閉環調控程序，溫度波動控制在 ±0.1℃以內。面對芯片持續產熱、潔凈車間環境溫差波動等復雜工況，制冷與加熱單元可快速聯動調節，穩定循環介質溫度，有效杜絕溫度漂移引發的芯片檢測數據偏差、薄膜厚度不均、光刻工藝精度下降等生產缺陷。

設備循環回路可適配專用氟化液、高純度去離子水、低濃度乙二醇介質，介質接觸部件采用無銅防腐潔凈材質，不會析出金屬離子污染晶圓；內置高精度過濾組件，持續攔截介質內微小顆粒，保障循環管路長期潔凈通暢。整機采用水冷換熱結構，換熱效率高，運行過程不會向潔凈車間散發熱量，適配恒溫無塵半導體廠房。

機身搭載集成式高清數顯操作面板，可實時查看介質溫度、循環流量、機組運行壓力、故障代碼，溫度區間、多級報警閾值可快速自定義；標配工業通訊接口，可對接產線 PLC 系統，實現遠程參數調控、運行數據記錄、故障信號遠程上傳，適配全自動智能化半導體產線。

整機配備全套高階安全防護體系，包含介質低液位保護、壓縮機高低壓過載保護、超溫自動停機、冷卻水斷流保護、低溫防凍保護等功能，設備出現異常即刻停機并輸出告警信號，保護昂貴半導體工藝設備。設備標準化機身結構，管路接口通用，內部濾芯、密封件等易損配件拆裝簡便，日常運維流程簡單，維護成本低廉，可支撐半導體產線 24 小時不間斷連續量產。

INR-495-025-2 以 CO?無氟環保冷媒、寬溫域精準控溫、潔凈防腐回路、水冷高效散熱、自動化智能聯動的核心優勢，為半導體精密工藝提供長效穩定、合規低碳的標準化溫控解決方案。