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EVO 25/50 MBE分子束外延系統是用于超高真空條件下探勘材料研究的沉積工具,適用于直徑不超過2英寸的基底。它們是靈活的系統平臺,適用于多種MBE應用,如二維材料生長、金屬間化合物、氧化物異質結構或半導體。EVO-25/50 MBE配備了先進的蒸發控制軟件,并提供多個原位特性分析端口。
EVO 25/50 MBE分子束外延系統特點:
MBE系統優化用于2英寸晶圓生長
緊湊設計與小型系統占地
靈活構型,從拓撲絕緣體到半導體和金屬氧化物
原位生長監測
可靠且快速的樣本傳輸
由先進軟件控制的生長過程
作為材料創新平臺(MIP)的一個模塊設計