目錄:華兆科技(廣州)有限公司>>半導體設備>>物理氣相沉積設備PVD>> SD-650MHT物理氣相沉積系統
SD-650MHT物理氣相沉積系統采用*的機械設計和精密控制系統,具備出色的真空水平和穩定的氣體控制能力。其核心部件包括旋轉真空泵和渦輪分子泵的組合,能夠快速實現5×10^-5Pa的真空,確保涂層過程中的高效率和穩定性。
SD-650MHT物理氣相沉積系統主要特征:
1. 高效真空系統:油轉真空泵與無油渦輪分子泵的結合,確保快速達到所需真空水平,提升實驗效率。
2. 精準氣體控制:內置氣體流量控制閥支持從大氣壓到10^-6Pa的廣泛測量范圍,確保濺射涂層的精確性。
3. 用戶友好界面:觸摸屏設計簡潔直觀。用戶可以通過屏幕輕松設置各種參數,實時監控涂層過程。
4. 安全與可靠性:多重防護措施,包括防泄漏和真空系統保護,確保設備和人員的安全。
5. 多功能應用:適用于各種材料涂層需求,尤其是弱磁性物質的濺射靶,大大擴展了應用范圍。