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PRO Line PVD 200物理氣相沉積系統是一款模塊化、功能齊全的薄膜沉積系統，支持8英寸晶圓轉印、最多8個濺射陰極和eKLipse高級控制軟件。全球服役超過500臺，PVD系列是一款經過驗證、堅固且多功能的設計，包含PVD 75和200平臺。PRO Line PVD 200物理氣相沉積系統在原設計的基礎上改進了基礎壓力和泵送速度。技術*的腔體設計、業內出色的軟件控制系統（具備*編程能力）、自動基底加載以及多種優化薄膜性能的功能，是這一創新的設計所帶來的一些關鍵優勢。
箱體，304不銹鋼室
內部維度選項：
對于濺射或短行程蒸發/E-梁：
19.25英寸寬 x 20.5英寸深 x 24英寸
高（488.95毫米寬 x 520.7毫米深 x 609.6毫米高）
鋁制，密封O型圈，帶鉸鏈，前門
箱體，304不銹鋼室
對于濺射應用或長距離蒸發/電子梁：
19.25英寸寬 x 20.5英寸深 x 36英寸高
（488.95毫米寬 x 520.7毫米深 x 914.4毫米高）
鋁制，O型圈密封，帶鉸鏈，前門
熱蒸發
最多可配備六艘4英寸單人艇
托魯斯磁控管濺射源
最多八個2英寸或3英寸的源
電子束蒸發源
4 口袋8cc
8 口袋12cc
6 口袋20cc
LTE10有機沉積源
最多兩個10cc的電源
附加選項
上述技術的組合
可根據要求提供定制配置
熱蒸發
上
托魯斯磁控管濺射源
向上、向下或側邊濺射
電子束蒸發
上
LTE有機沉積
上
旋轉、加熱、冷卻、偏置、負載鎖定兼容
直流、PDC、射頻、中頻和HIPIMS 電源
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