Fiji ALD原子層沉積系統是一種模塊化、高真空熱原子層沉積系統，采用靈活的架構和多種前驅體和等離子體氣體配置，可適應各種沉積模式。Fiji ALD是下一代 ALD 系統，能夠執行熱成像和等離子體增強沉積。

我們應用了的計算流體力學分析，優化Fiji ALD反應堆、加熱器和陷阱幾何結構。系統的直觀界面使得監控和根據需要更改配方和流程變得輕松。

Fiji ALD原子層沉積系統的功能包括：

專有腔室渦輪泵系統                       

改進等離子體設計                

人體工學界面                                       

原位橢偏度                    

原位石英晶體微觀天平                                           

綜合臭氧                   

手套箱接口                                             

Fiji ALD提供最多六條前驅體管線，可容納固體、液體或氣體前驅體，以及六條等離子體氣體管線，在緊湊且經濟的占地內提供顯著的實驗靈活性。