目錄:華兆科技(廣州)有限公司>>半導體設備>>原子層沉積設備ALD>> Genesis ALD原子層沉積系統
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 化工,生物產業,電子/電池,航空航天,綜合 |
|---|
Genesis ALD原子層沉積系統適用于電池、太陽能和柔性電子設備的功能性ALD涂層。Genesis ALD非常適合涂覆任何卷狀基材,并適用于多種功能應用。
Genesis ALD原子層沉積系統特點:
1.市場與應用
適用于電池、太陽能和柔性電子設備的功能性ALD涂層。Genesis ALD非常適合涂覆任何卷狀基材,并適用于多種功能應用。
各種鋰離子和固態電池陰極和陽極的鈍化
柔性太陽能電池的導電層與封裝
柔性電子設備的防潮層
2.材料選擇
豐富的ALD材料選擇,滿足您的需求。多年來,Beneq在研發和工業生產領域開創了卷對卷ALD系統。我們的常用材料包括鋁氧化物、鈦氧化物、鋅氧化硫、氧化硫、氧化硅,或根據需求提供的其他材料。
3.特色亮點
網寬:最大420毫米
鋁合金涂層厚度:最大100nm
動態沉積速率(Al2O3):10 nm *m/min
工藝溫度:最高250°C
4.定制化
Genesis ALD最大寬度為420毫米,適合實驗室研發或試點規模生產。設計用于將ALD薄膜處理到聚合物或金屬等柔性基材上。