VOYAGER 高性能電子束光刻系統集穩定高性能與簡易操作性于一體，全生命周期具備優異的性價比，是適用于科研學術與工業應用場景的通用型解決方案。設備采用全自動、出色人體工學設計，搭載智能功能與創新架構，可最大限度縮短檢測出結果的周期。此外，標配耐環境防護罩，即便在非理想實驗室環境下也能保障系統穩定運行，進一步提升了設備的可靠性與使用便捷性。                          

VOYAGER 高性能電子束光刻系統主要特性                          

?高度符合人體工程學的人機界面                       

?50 千伏熱場發射電子槍柱技術                      

?全自動寫入場校準                              

?自動聚焦與像散校正設置                           

?高分辨率與高通量寫入模式自動切換                

?靈活的定向圖形填充模式                 

?無拼接誤差連續寫入模式                                   

?獨特的基于公式的圖形生成工藝