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BIO 系列無掩模光刻機是生命科學版的無掩膜紫外光刻機,該設備具有更高的深寬比,能滿足生命科學域的特殊需求。它主要用于制備像微流控芯片之類的具有特定需求的樣品 。在微流控芯片的制造過程中,其高深寬比和高靈活性的特點得以展現,可確保芯片的質量和性能。這使得它成為生命科學研究和相關應用中的重要工具。BIO 系列的出現為生命科學域帶來了新的機遇,有助于推動相關技術的發展和創新,為科學研究和實際應用提供有力支持。
為什么BIO 系列無掩模光刻機是微流控模具制作的出色解?
超600μm厚膠光刻精準光刻工藝,均勻曝光、精準顯影
10:1 深寬比微結構,線條清晰、輪廓規整
100×速度提升,高效曝光、極速成型