PIONEER 電子束光刻系統是一款集成了電子束光刻（EBL）和掃描電子顯微鏡（SEM）功能的創新性儀器，專為高校和科研機構設計。它采用先進的熱場發射技術、多種檢測器以及高精度激光干涉儀控制臺，提供“寫入與觀察"配置，具備模塊化設計和高性價比的特點。該系統適用于需要進行納米結構制造及分析的用戶，尤其適合材料學和生命科學研究領域。

PIONEER 電子束光刻系統主要特性                                       

?基于 Gemini 技術的超高分辨電子光學鏡筒                      

?電子束光刻實現個位數納米級分辨率                                            

?超高精度激光干涉儀載臺（行程可選 2 英寸、4 英寸或 6 英寸）

?適配掃描電鏡成像、計量與分析的多種探測器                      

?豐富多樣的納米加工工藝選項                                      

?RAITH Nanosuite 系統控制軟件                          

?具備自動聚焦、自動消像散、自動亮度及自動對比度功能