MiScan 高效混合直寫光刻系統是為中國市場定制的先進曝光設備，提供多種光源選擇及靈活的運動平臺配置。其亮點在于高分辨率、精細的灰度等級以及精密的套刻對準精度，并支持百級凈化環境下的曝光操作。該系列設備適用于需要高精度加工的領域。

MiScan 高效混合直寫光刻系統技術特點                  

可選配大功率光源405nmLD、355nmDPSSL（Dpssl355nm激光光源壽命大于20000小時）          

標準支持12英寸幅面基板，其他幅面可定制                                              

多維光刻(偏振曝光、干涉曝光、1024階3D曝光)                      

高精密工件臺                            

高精度環控系統                     

自動聚焦，實時對準                           

分區定位，多基片，多任務曝光                 

支持自動與手動對準             

GDSII、BMP、STL等文件格式支持